真空氦质谱检漏仪品牌企业「博为光电」

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术（1）氦气充注及回收设计：首先、务必保证安全问题，因为涉及到高压气体因此储气罐务必设置安全阀及压力适时检测装置，保证压力容器安全。第二、压力管道务必密封良好，防止充气及回收过程中空气混入到系统中，造成氦气纯度下降。第三、需要有氦气浓度检测装置，保证在氦气压力及纯度达不到要求时，补充新鲜的氦气。第四、具备虑油装置，防止氦气增压泵以及真空泵中的油蒸汽进入气罐，污染系统。（2）抽空系统设计：抽空系统设计应本着适度、够用、满足需求原则。系统冗余过大，会导致制造成本偏高，也不离于节能环保。

缺点：初始成本投入高；在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。

关于真空检漏漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1。01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。